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Risesun Hotbar - 涂层硅碳棒

碳化硅加热元件可在不同气氛的炉内使用,但在一些气氛条件下元件的使用寿命会受到影响而缩短,为了延长元件在不同气氛中的使用寿命,我们准备了不同类型的涂层来保护元件的碳化硅结构,以防其加速老化,主要有A、B、C、D、等类型的涂层。

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碳化硅加热元件可在不同气氛的炉内使用,但在一些气氛条件下元件的使用寿命会受到影响而缩短,为了延长元件在不同气氛中的使用寿命,我们准备了不同类型的涂层来保护元件的碳化硅结构,以防其加速老化,主要有A、B、C、D、等类型的涂层。但事实上,一个炉内几种有害的挥发物可能同时存在,甚至本来无害的挥发物由于与其它挥发物混合成为有害物,从而影响元件的使用寿命。由于不同类型的涂层在不同气氛中所体现的使用效果不同,选择涂层时需先针对具体问题做小批量的试验,以发现最佳方案,选用一种最适用的涂层。

 

元件在不同气氛下使用的影响和推荐的涂层

气氛

对元件的影响

解决办法

推荐涂层

水蒸汽和湿气

比在干燥大气中使用寿命缩短约20%

新炉子运行或旧炉子长时间不工作再使用时,要先低温充分干燥后再升温

A涂层

氮气

温度超过1400度时氮气与碳化硅反应生成氮化硅,使元件变脆,寿命缩短,受露点影响与氢气的状况相同

建议炉温在1300度以下使用,表面负荷尽量小

B涂层

氢气

元件上升到1350度以后电阻急速增加,机械强度也下降,而且根据气体干湿的不同寿命也差别很大

建议炉温在1300度以下使用,表面负荷小于5W/CM2

C涂层

氨气

与氢气、氮气的状况相同

建议炉温在1300度以下使用,表面负荷小于5W/CM2

B涂层

C涂层

分解气体

(N2,CO,CO2,H2,CH4)

加热过程中元件表面附着分解后碳黑,造成棒体疏松

经常向炉内输送空气,让多余的碳燃烧。在炉子构造方面,保持加热元件间有足够的间隔以防止短路.

 

(S、S2)

元件温度升到1300度后,元件表面被侵蚀,电阻急剧增加

将元件温度控制在1300度以下

 

真空

在高真空中不能生成二氧化硅保护膜,碳化硅自行分解,寿命缩短

在0.13Pa以上的压力和1100度以下的炉温使用

 

其他

由被处理物产生的各种物质,如铅、锑、碱金属的化合物与元件反应,使其寿命缩短。

预先将这些物质从处理物中除掉,炉内设排气口以便减弱其影响

D涂层

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